Вакуумный универсальный пост ВУП-5М, Харьков

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен: предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов. Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники.
Основные достоинства и особенности прибора:
универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
возможность изменения структуры и свойств пленок;
возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.
Технические характеристики
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
• с диффузионным насосом и азотной ловушкой (//www.ukrboard.com.ua)
• с турбомолекулярным насосом
2×10-4
6×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm 40
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm 300×300
Габаритные размеры, mm
• стойка аналитическая
• стойка электрическая
620×630×1600
620×630×1400
Электрическое питание, V 380 / 220